应该怎样在净化车间里防止微粒污染？应该遵循以下四项基本原则：

一、没携带。

净化车间中不携带微粒的方法有：

1)作业人员进入洁净车间前，应对机台、部件进行清洗处理；

2)进入洁净车间的人应在更衣室、无静电的帽子、鞋子、手套、口罩等。，具有特殊的导电纤维材料。

3)使用高速清洁空气穿过风淋室将附着在衣物表面的微粒移走，即可进入洁净车间。

4)机器及材料进入洁净车间前室保养后，应尽可能进入洁净车间前室保养后用超纯水擦洗，风淋室吹淋后进入洁净车间。

5)在洁净车间须戴上全套的密闭式安 全帽，并戴着带灭火器的小型吸尘器。

二、没制造。

对于大污染源——净化车间中的微粒粉尘，控制二大污染源——机台的发尘量，应加以控制。因为运动过程中产生的摩擦和接触剥落会产生灰尘，而且当物体运动时还会产生颗粒。因此，应采取以下措施来控制发尘量达到小值：

1)减少接触剥尘的动作形态；

2)采用磨损发尘的材料；

3)使用起尘润滑剂；

4)空压机上应用无触点工作原理的机台。

三、没储备。

如果完全实施“无携入”技术，保持洁净室内的洁净度。但在广阔的洁净车间中，人、物的频繁进出，以及生产机台的限制，要实现完全洁净是不可能的。因此，在过滤器中快速地使用“无存储”技术来清除已经发生的颗粒就变得非常重要。一般情况下，已经发生的粒子子会根据重力和静电吸附的力，停留在周围物体表面。突如其来的震动和不稳定的气流使这些积聚的颗粒在空中再次扬起，这就增加了微粒污染的危险。

完全去除颗粒的空气须以每秒0.3-0.4微米的速度垂直向下，从天花板到地面的高清洁车间从天花板到地面。计算出的室内空气与全过滤空气在10秒内完全交换而得的数值。同时，还须准确地控制气流的方向。特别要确保气流流动的路径畅通无阻，因为流通路径中有障碍物时，容易产生涡流形成空气滞留区，使附近已经发生的颗粒颗粒不能迅速排出而长时间漂浮在洁净车间内的洁净车间内，从而使周围的颗粒无法迅速排出。控制空气可以阻止微粒的积累，但无法阻止电荷表面的微粒累积。

采用高性能过滤器可以很容易地达到净化车间内的浮游微粒浓度，因此，在实际生产现场，由于操作人员、机器、周围机械的发尘以及在基板运输过程中接触到的零件材料的发尘等，造成了元件清洁面的微粒污染。

四、排除/排除。

机台面上不能避免大量微粒发生，为了不让车间内产生微粒，就直接做对外排气的动作，即所谓局部排气。对排气量的控制措施如下：由于同量外气导入是必要的，但会伴随着大量的能耗。因此不能说是理想的对策。所以，尽量压缩排出量，不仅要向干净的室外排出，还要采取将去除颗粒后的空气再回流至洁净车间。